HORIBA质量流量传感器在半导体行业的应用

【摘要】质量流量控制器是一种可直接测量气体的质 量流量并进行流量控制的设备。不因环境温 度和使用压力等条件的变化而改变,可实现 精度且稳定的流量控制,应用于各种工业 领域。
horiba质量流量计