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日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100 简介
产品参数
产品品牌
HORIBA堀场
产品类型
质量流量计/控制器
可售卖地
面议
价格区间
面议
供货总量
面议
售后服务
完善
产品简介
HORIBA质量流量控制器SEC-N100主要针对非芯片半导体制程而开发,同半导体制程一样，非芯片半导体工艺也已经形成相对统一的制造标准， SEC-N100 系列产品能够满足广大客户对不同制程规范的要求。
日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100 详情介绍
SEC-N100质量流量控制器产品特性:
- 数字式/ 模拟式通信：RS-485/DeviceNet/Profibus/模拟式（电流/电压），可与其它系列产品兼容
- 复合气体 / 复合量程：可以方便的在客户端更改对应气体和量程
- 高精度控制： ±1.0% 设定流量：选用与SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.
- 快速响应： 在可控流量范围内,响应时间≦1 sec，内置PID参数，可以调整响应时间
- 气阀种类：电磁阀 (~50SLM)，压电陶瓷阀 (100/200SLM)
- 密封圈材质 ：橡胶 或 金属
- 气路表面 ： 未经抛光处理
- 接口 ： 仅有VCR接口
- RoHS要求： 满足RoHS要求
日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100产品规格
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