日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100

HORIBA质量流量控制器SEC-N100主要针对非芯片半导体制程而开发,同半导体制程一样,非芯片半导体工艺也已经形成相对统一的制造标准, SEC-N100 系列产品能够满足广大客户对不同制程规范的要求。

日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100产品简介

SEC-N100质量流量控制器产品特性:

  • 数字式/ 模拟式通信:RS-485/DeviceNet/Profibus/模拟式(电流/电压),可与其它系列产品兼容
  • 复合气体 / 复合量程:可以方便的在客户端更改对应气体和量程
  • 高精度控制: ±1.0% 设定流量:选用与SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.
  • 快速响应: 在可控流量范围内,响应时间≦1 sec,内置PID参数,可以调整响应时间
  • 气阀种类:电磁阀 (~50SLM),压电陶瓷阀 (100/200SLM)
  • 密封圈材质 :橡胶 或 金属
  • 气路表面 : 未经抛光处理
  • 接口 : 仅有VCR接口
  • RoHS要求: 满足RoHS要求

日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100产品规格