日本HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500

目前的SEC-Z500X 系列产品主要使用于半导体制程, 而SEC-N100 作为它的重要补充,主要针对非芯片半导体制程而开发。 同半导体制程一样,非芯片半导体工艺也已经形成相对统一的制造标准, SEC-N100 系列产品能够满足广大客户对不同制程规范的要求。

日本HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500产品简介

HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500减少实际流量和理论差异

HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500,Sensor
1.使用温度补偿回路传感器(减少 摩尔比热影响)
2.多项方程来纠正流量
3.收集流量输出特性数据库(N2和实际气体)
4.更新sensor 数据 by Data Server
HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500,Bypass
1.提高加工精度
2.安装不同流量的BP配合sensor (Fixed flow ratio every Bin number
HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500,Flow path
1.内部表面抛光,减少流量差异
2.采用PIEZO阀,结构简单,没有热量产生。
HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500,PCB
1.数字式调整
2.更少电位器。减少改变机械雾部件可能造成的损伤。(Cancel of backrush)
Calibration tool
1.采用 MolBlock 调流量

日本HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500产品规格