质量流量计 - 进佳仪器

日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV

随着半导体器件快速一体化的发展，越来越多的细节需要考虑其中，同时新的材料也被引入 300nm 晶圆制程以确保产品性能。在这样的背景下，更多的液体被应用到半导体生产过程中，流量需求不断增大。作为该领域的领导者，HORIBA STEC 提供了一整套的液体源汽化控制系统，利用加热、直接注入、混合注入等不同方式确保平稳有效的将气体传送到反应室。自动供液系统能不间断的安全可靠的传输液体，从而提高工作效率，同时有效降低了操作员的手动操作以及制程污染风险。

日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV产品简介

数字式液体质量流量计LF-F

这是一款具备冷却测试方式的液体质量流量计，可精确检测低沸点和高粘度液体的流量，仪器内部进行超洁净处理并符合RoHS 环境标准

提供超低微小流量检测
抗压性 : 10MPa
超洁净

数字式液体质量流量计LV-F

这是一款具备冷却测试方式的流量传感器，可精确控制低沸点和高粘度液体的流量，仪器内部进行超洁净处理并符合 RoHS 环境标准

提供超低微小流量控制
可精准控制低沸点和高粘度液体
抗压性 : 1MPa
超洁净

日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV

日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV产品简介

日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV产品规格

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