质量流量计质量流量控制器实际气体的校准和因素转换方法

质量流量仪表以氮气气体作为标准校准。热式传感器精度不能保证，除非他们用实际气体校准。我们公司用于标定的实际气体为N2, O2, H2, He, CO2和Ar 。关于其他气体，根据一定的转换系数CF，可以变为N2校准。

举例来说，当质量流量计中是Ar，我们用N2来校准。由于AR的CF是1.4，比质量流量器的读数大1.4倍的Ar流入。换言之， Ar的流量 = 1.4×N2质量流量器的读数。CF则是计算各种气体的基础上积累所得的数据。然而 ，某种气体CF可能不完全一样，取决于实际气体的状态（温度和压力），质量流量器传感器的类型，层流素子的组成。 公布的CF值只是作为一个标准。

如果您希望用实际气体标定，而不使用CF，请告知实际气体，我们将用它来校准（这将产生单独的费用）。然而，我们在鉴于产品的和设施的安全时不能接受一些危险气体。关于细节，请先与我们联系。