Yamato洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C

洁净厌氧高温气氛炉DTN430C/630C/450C/650C洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。

Yamato洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C产品简介

特点
●最高工作温度360℃和500℃。
●采用耐热高性能高效过滤器,可在洁净的环境下进行高温烘烤。
●高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2 消耗量极低。
●磁密封保持高气密性,采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
●可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。
●标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。

安全性
●门检测开关
●温度过升防止器
●氧浓度异常安全装置
●氮气压力检测
●氮气流量检测
●冷却水流量检测
●漏水传感器
●过电流漏电漏电保护开关

Yamato洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C产品规格

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