HORIBA QL系列微孔系统

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型号规格

HORIBA QL系列微孔系统 简介

产品参数
产品品牌
HORIBA堀场
产品类型
质量流量计/控制器
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售后服务
完善
产品简介
四极杆质量分析仪 MICROPOLE系统是最小的质谱仪系统之一,易于安装。该系统已被证明是许多腔室表征应用的理想解决方案。紧凑的尺寸是通过四极杆质量过滤器微型阵列的专利设计实现的。该系统能够在比传统系统高得多的压力下运行,因此减少了对额外差动泵送设备的需求。

HORIBA QL系列微孔系统 详情介绍

体积极其紧凑,重量轻盈
与传统的残余气体分析仪相比,其尺寸为1/20,易于集成到任何系统中
高性能
9个四极杆的迷你阵列以传统四极杆体积的一小部分提供了出色的灵敏度
高压操作
可在高达0.9Pa(7mTorr,9 x 10-3mbar)的压力下使用,从而减少或消除了许多应用中昂贵的真空泵
校准中的可互换传感器头
传感器头在装运前经过预调和校准,使用户无需微调或技术专长即可在现场更改传感器
网络传感器
一台PC可以使用RS-485监控多达八个传感器。也可以通过外部I/O进行无PC扫描操作。
用户友好型软件
Micropole Scanner™2软件允许用户以各种模式监测气体的分压,例如趋势图、光谱图、条形图。

HORIBA QL系列微孔系统产品规格

HORIBA QL系列微孔系统参数

HORIBA QL系列微孔系统参数

HORIBA QL系列微孔系统参数

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