日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV

日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV

随着半导体器件快速一体化的发展，越来越多的细节需要考虑其中，同时新的材料也被引入300nm晶圆制程以确保产品性能。在这样的背景下，更多的液体被应用到半导体生产过程中，流量需求不断增大。作为该领域的领导者，HORIBA STEC提供了一整套的液体源汽化控制系统，利用加热、直接注入、混合注入等不同方式确保平稳有效地将气体传送到反应室。自动供液系统能不间断地安全可靠传输液体，从而提高工作效率，同时有效降低操作员的手动操作以及制程污染风险。

数字式液体质量流量计 LF-F

LF-F是一款具备冷却测试方式的液体质量流量计，可精确检测低沸点和高粘度液体的流量。该仪器内部进行超洁净处理并符合RoHS环境标准。

• 提供超低微小流量检测
• 抗压性: 10MPa
• 超洁净处理

数字式液体质量流量计 LV-F

LV-F是一款具备冷却测试方式的流量传感器，可精确控制低沸点和高粘度液体的流量。该仪器内部进行超洁净处理并符合RoHS环境标准。

• 提供超低微小流量控制
• 可精准控制低沸点和高粘度液体
• 抗压性: 1MPa
• 超洁净处理

公司介绍

上海进佳科学仪器有限公司位于上海浦东新区，长期专注于为电子半导体、光纤、生物制药等高科技行业提供流量控制与过程连接解决方案。公司与美国KING、Dwyer、degreeC、日本HORIBA、YAMATO、韩国TKF、SUPERLOK等国际知名品牌保持长期合作关系，其中Dwyer已代理20年、HORIBA已代理15年，部分为品牌官方授权代理，部分为经销商。

主营产品涵盖质量流量计、质量流量控制器、风速计、差压表、差压变送器、阀门、卡套接头等。产品广泛应用于半导体、光伏、光纤、LED、生物制药、环保、化工等场景。公司配备专业工程师团队，能够提供选型咨询、方案推荐、定制化配件、试用样机申请，并支持远程调试、电话指导或现场技术服务。所有产品出厂前经过检测，提供质保、退换货与维修。

公司在价格稳定、供货周期可控、技术支持完善、售后服务及时以及二十多年行业积累等方面具有优势，客户群体涵盖半导体、新能源、光伏、光纤、生物制药、科研院所及大型企业，并已成功与上市公司、高校和科研单位开展合作。