HORIBA GD-Profiler 2™

HORIBA GD-Profiler 2™

GD-Profiler 2™辉光放电光谱仪
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HORIBA GD-Profiler 2™ 简介

产品参数
产品品牌
HORIBA堀场
产品类型
光谱仪
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产品简介
GD-OES 是一种可对层状材料进行超快速元素深度剖析技术,同时能以纳米级深度分辨率对所有元素和厚度进行定量测量。HORIBA 的脉冲射频 GDOES 仪器配备差分干涉轮廓术(DiP),是材料研究和工艺开发的理想表征工具。 创新的脉冲射频源可对各种固体样品进行最佳性能的深度剖析,从最初几纳米到超过 150 微米。采用专利的超快速溅射技术(UFS),高分子材料可轻松实现溅射。此外,该源还可用于制备扫描电子显微镜(SEM)所需的样品表面。可测量所有元素,包括氢、氘、锂、碳、氮、氧等。专利的差分干涉轮廓测量技术(DiP)可直接测量深度随时间变化的函数关系,具有纳米级精度,且与辉光放电(GD)分析同步进行。 所有 HORIBA 辉光放电仪器均采用专利的高动态范围检测器(HDD),可实时自动优化灵敏度,既能分析单层中的痕量元素,又能无损检测第二层中的主量元素,无需任何调整

HORIBA GD-Profiler 2™ 详情介绍

  • 射频发生器是 E 类标准,对稳定性和溅射坑形状都进行了优化以满足实时表面分析。

  • 射频源可以分析传统和非传统镀层和材料,对于易碎样品,还可以使用脉冲式同步采集优化测试。

  • 从 110nm到 800nm 同步全光谱覆盖,包括分析 H、O、C、N 和 Cl 的深紫外通道。

  • HORIBA 研发的离子刻蚀型全息光栅具有高的光通量和光谱分辨率,光学效率和灵敏度都表现优良。

  • HDD 探测器兼具检测速度和灵敏度。

  • 内置的微分干涉仪DIP可实时测量溅射坑深度和剥蚀速率。

  • 宽敞简洁的大样品仓易于装卸样品,操作简单。

  • QUANTUM™ 软件配置了Tabler 报告编写工具。

  • 专利激光中心定位装置(专利号:Fr0107986/国际专利种类:G01N 21/67)可定位样品测试位置。

 HORIBA 的辉光放电光谱仪可以选配单色仪,实现n+1元素通道的同时也提高了设备的灵活性。

HORIBA GD-Profiler 2™产品规格

辉光源结合超快速、高分辨的同步光学器件,可对导体、非导体和复合材料进行快速元素深度剖析。

适用于薄膜和厚膜——从纳米到数百微米,且具有纳米级深度分辨率。

典型应用领域包括光伏、冶金、LED 制造、腐蚀研究、有机和微电子、材料研发、沉积工艺优化、PVD、CVD、等离子涂层、汽车、锂电池等。

不需要超高真空。

使用高动态探测器可以测量所有感兴趣的元素(包括 H、D、O、Li、Na、C、N 等)。

可选附件单色仪配备的也是高动态探测器,可在image模式下做全谱扫描,极大的增加了设备的灵活性。

脉冲式射频源,可选择在常规射频模式和脉冲式射频模式下工作,且可全自动匹配。

辉光源采用差速双泵真空系统,可为SEM制备样品。

内置等离子清洗功能。

超快速溅射模式UFS可快速分析聚合物和有机材料。

内置的微分干涉仪DIP,可直接在线测定深度。

用于异形样品测试的各种铜阳极和附件。

Windows 10 软件 – 为远程安装提供多个副本

关于进佳仪器

上海进佳科学仪器有限公司,拥有多个国外仪表行业品牌的授权代理证,旗下每一个品牌均历经市场的考验。公司团队拥有丰富的从业经验以及扎实的专业知识,对各个品牌的产品优势和市场定位有深入了解。公司始终秉持以客户为中心的理念,致力于为客户提供全方位、个性化的服务解决方案。

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