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HORIBA GR-511F 晶圆背面冷却系统压力控制器 简介
产品参数
产品品牌
HORIBA堀场
产品类型
质量流量计/控制器
可售卖地
面议
价格区间
面议
供货总量
面议
售后服务
完善
产品简介
GR-511F压力控制器可以控制用于冷却由静电卡盘系统固定在适当位置的晶片背面的气体。
GR-511F压力控制器的稳定性和精度使其成为控制晶圆冷却系统中氦气和氩气流量的选择。
HORIBA GR-511F 晶圆背面冷却系统压力控制器 详情介绍
优点：
压力控制更稳定、更精确
质量流量传感器（可选）
兼容各种配件
符合RoHS标准
HORIBA GR-511F 晶圆背面冷却系统压力控制器产品规格
关于进佳仪器
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