HORIBA晶圆背面冷却系统压力控制器GR-511F介绍

HORIBA GR-511F 晶圆背面冷却系统压力控制器

上海进佳科学仪器有限公司长期以来专注于为高科技行业提供流量控制与过程连接解决方案。今天，我们将介绍HORIBA GR-511F压力控制器，这款产品在晶圆冷却系统中扮演着至关重要的角色。它的稳定性和精度使其成为控制晶圆冷却系统中氦气和氩气流量的优选。

核心功能与技术参数

HORIBA GR-511F压力控制器设计用于控制静电卡盘系统中晶片背面的气体流动。其稳定的压力控制能力确保了气体流量的精确调节，从而优化晶圆冷却效果。该产品的核心功能包括：

• 压力控制更稳定、更精确：通过的技术保障压力控制的高精度与高稳定性。
• 质量流量传感器（可选）：客户可根据需求选择搭载质量流量传感器，以实现更高精度的流量控制。
• 兼容各种配件：该压力控制器支持多种配件的连接，满足不同系统的需求。
• 符合RoHS标准：产品符合环保要求，确保在使用过程中对环境的影响最小。

典型应用场景

HORIBA GR-511F压力控制器广泛应用于半导体制造过程中的晶圆背面冷却系统。其精确的流量控制能力适用于需要高稳定性和精度的场合，例如：

• 半导体晶圆制造：在晶圆制造过程中，精确控制氦气和氩气流量可以提高产品质量和生产效率。
• 光纤制造：在光纤生产中，稳定的冷却系统对产品质量至关重要。
• LED生产：同样需要精密的气体流量控制，以确保产品的一致性。

优势亮点总结

HORIBA GR-511F压力控制器以其的性能和稳定性赢得了众多客户的信任。其主要优势在于：

• 精确的流量控制：确保生产过程中的质量和效率。
• 广泛的应用兼容性：适用于多种高科技制造领域。
• 环保设计：符合RoHS标准，确保环境友好。

关于上海进佳科学仪器有限公司

作为行业内的领军企业，上海进佳科学仪器有限公司与多家国际知名品牌保持长期合作关系，提供质量流量计、质量流量控制器等多种产品。公司拥有专业的工程师团队，能够为客户提供选型咨询、方案推荐、定制化配件等服务，并支持远程调试、电话指导或现场技术服务。我们致力于为客户提供稳定的价格、可控的供货周期、完善的技术支持和及时的售后服务。

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