HORIBA腔室清洗终点监测的高级气体监测仪IR-400介绍

2025-11-02 08:00

HORIBA IR-400 高级气体监测仪：提升清洗过程的智能化

上海进佳科学仪器有限公司，作为一家长期专注于流量控制与过程连接解决方案的企业，与众多国际知名品牌保持紧密合作关系，其中包括已代理15年的日本HORIBA。今天，我们将向您详细介绍其旗舰产品——HORIBA IR-400高级气体监测仪，该产品专为腔室清洗终点监测而设计，广泛应用于电子半导体及其他高科技行业。

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HORIBA IR-400 的核心功能

HORIBA IR-400是业内的气体监测仪，专门用于沉积过程中实时监测腔室清洗终点。其独特的功能包括实时终点监测，这一功能能够显著减少清洗时间及清洗气体使用量。通过优化清洗过程，IR-400不仅提高了清洗效率，还减少了对腔室的损害，从而延长所有系统部件的使用寿命。

HORIBA IR-400 气体监测仪

技术参数解析

HORIBA IR-400具备多气体监测功能，支持SiF4和CF4气体的检测（型号IR-422）。其高灵敏度气室加热功能可达到最高180℃，确保在不同环境下的稳定性与精确性。此外，IR-400还提供多重显示模式及模拟/数字通信接口，方便用户实时监测及数据传输。

典型应用场景

HORIBA IR-400在半导体制造过程中扮演着关键角色。它适用于各种腔室清洗过程，包括化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）等。通过实时监测清洗终点，IR-400不仅优化了清洗时间，还降低了清洗气体的消耗。其可重复和可预测的清洗过程，为制造商提供了可靠的生产环境，确保产品质量的一致性。

优势亮点总结

HORIBA IR-400作为一种高级气体监测仪，提供了诸多优势。首先是其显著的清洗时间缩短和气体使用量减少，这不仅提高了生产效率，还保护了腔室组件，延长了设备的使用寿命。其次，IR-400的高灵敏度和多气体监测功能，确保了在复杂工艺条件下的精确度和可靠性。最后，上海进佳科学仪器有限公司提供的全面技术支持和售后服务，使得客户能够无忧地使用该产品。